SFJ-231D型半導體專用氦質譜檢漏儀_安徽AG国际馆科技股份有限公司

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SFJ-231D型半導體專用氦質譜檢漏儀

性能特點

 

操作簡單,通常隻需兩鍵(開始和停止)

Easy operate,only two key buttons(Start and Stop)to be operate

德國多口分子泵

Multi-port molecular pump from Germany

自動抽空時間和壓力可設定

time and pressure for automatic evacuation can be set

雙燈絲自動切換

Dual filaments,auto switch from one to another

自動調零 自動校準

Auto-zero auto calibration

自動量程切換

Auto range switching

銥帶離子源,使用壽命更長

Lridium ion source,longer service life

 

 

主要技術指標

 

最小可檢漏率(真空模式)

Minimum detectable leak

rate for He (vacuum leak)

5×10-13 Pa·m3/s

 

最小可檢漏率(吸槍模式)

Minimum detectable leak

rate for He (sniffing leak)

1×10-8 Pa ·m 3 /s

檢漏口壓力

Inlet test pressure

Gross:1500Pa,Fine:200pa,Ultra:40pa

粗抽能力

Roughing capacity

10 m 3 /h

氦氣抽速(Gross模式)

Pumping speed for He (gross mode)

8 l/s

氦氣抽速(Fine模式)

Pumping speed for He (Fine mode)

7 l/s

氦氣抽速(Ultra模式)

Pumping speed for He (Ultra mode)

2.5 l/s

檢漏口規格

Inlet port

DN 25 ISO-KF

啟動時間

Warm-up time (20°C)

≤3min

接口

Interface

RS-232/485 USBx2

輸入/輸出接口

I/O interfaces

Digital and Analog I/O,Relays

尺寸

Dimensions

645 x 678 x 965 mm

重量

Weight

75kg

電壓

Universal voltage

220V±10%, 50 /60 Hz

最大功率

Maximum power

1000 W

語言

Selectable languages

Chinese,English

溫度

Operating temperature

10– 40 °C